ELCUT
Новый подход
к моделированию полей

Главная >> Применение >> Типовые примеры >>

Микроэлектромеханический тепловой актуатор

тепловые потери в изоляции МЭМС актуатора, расчет распределения тока в актуаторе

Тип задачи
Плоско-параллельная мультифизичная задача электрического поля постоянных токов, теплопередачи и механики.

Геометрия
Толщина слоя 1 мкм.
Микроэлектромеханический тепловой актуатор Рассчитать распределение плотности тока и тепловых потерь, температуру, термические деформации и перемещение акутатора. Холодная часть Горячая часть 0 V+ 470 μм 495 μм 30 μм 2 μм 10 движение

Дано

Приложенное напряжение: V+ = 5 В
Удельное электрическое сопротивление: 23 мкОм*м
Теплопроводность: 150 Вт/(м*K)
Коэффициент линейного теплового удлинения: 2.9*10-6 1/K
Модуль Юнга: 169 ГПа, коэффициент Пуассона: 0.22.

Задание
Рассчитать распределение плотности тока и тепловых потерь, температуру, термические деформации и перемещение акутатора.

Решение
Для расчета распределения плотности тока решается задача "электрического поля постоянных токов". Рассчитанная мощность тепловыделения передается в качестве источника в тепловую задачу для расчета распределения температуры.
Рассчитанное превышение температуры передается в задачу механики в качестве источника для расчета механических термодеформаций.

Результат
Распределение электрического потенциала по длине
Распределение электрического потенциала в МЭМС

Распределение плотности электрического тока проводимости
Распределение плотности электрического тока проводимости в МЭМС

Распределение мощности тепловыделения
Распределение мощности тепловыделения в МЭМС

Распределение температуры
Распределение температуры в МЭМС

Механическая деформация. Перемещение конца актуатора составляет 17 мкм
Механическая деформация МЭМС

* Marin Hristov Hristov, Tihomir Borisov Takov, Ivelina Nikolaeva Cholakova, Krassimir Hristov Denishev, Vladimir Emilov Grozdanov, Dobromir Georgiev Gaydazhiev, Design and investigation of a thermal actuator, ELECTRONICS 2008, 24-26 September, Sozopol, BULGARIA

ELCUT включён в Государственный реестр Российского программного обеспечения


Продукт
Заказ
Запросить пробную версию
Модификации
Функциональность, Состав
Программирование
Спецкурсы

Применение
Промышленность
Образование
Наука
Типовые примеры
Отзывы
Пользователи

Поддержка
Онлайн семинары
Виртуальный класс
Вход для клиентов
Словарь
Тестирование

Загрузить
ELCUT Студенческий
Руководство пользователя
Библиотеки материалов
Видео
Бесплатные утилиты

Новости
Новые версии
События
Статьи
Подписка

Контакты
О компании
Как нас найти
Консультации
Поддержка онлайн
Партнеры